六氟乙烷
中文名称：六氟乙烷
英文名称：Hexafluoroethane
化学式：C2F6
分子量：138.01
CAS 号：76-16-4
EINECS：200-939-8
熔 点：-100.6℃
沸 点：-78.2℃
形 态：无色无臭气体
用 途：
1.六氟乙烷可用于一种具多功能的蚀刻技术，常见于半导体之生产。它可用于金属硅化物及金属氧化物并相对其金属基质的选择性蚀刻。叧外，它亦用于蚀刻硅上的二氧化硅。
2.六氟乙烷可连同三氟甲烷一起用于制冷剂R508A（六氟乙烷占61%）及R508B（六氟乙烷占54%）。
