四氟化碳
中文名称：四氟化碳
英文名称：Carbon tetrafluoride
中文别名：四氟甲烷
英文别名：tetrafluoromethane
化学式：CF4
分子量：88.04
CAS 号：75-73-0
EINECS：200-896-5
熔 点：-184 ℃
沸 点：-128.1 ℃
溶解性：不溶于水
形 态：无色、无臭、不燃的易压缩性气体。
用 途：
1.用于各种集成电路的等离子刻蚀工艺，也用作激光气体，用于低温制冷剂、溶剂、润滑剂、绝缘材料、红外检波管的冷却剂。
2.是微电子工业中用量**的等离子蚀刻气体，四氟甲烷高纯气及四氟甲烷高纯气、高纯氧的混合气，可广泛应用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及钨等薄膜材料的蚀刻，在电子器件表面清洗、太阳能电池生产、激光技术、低温制冷、泄漏检验、印刷电路生产中的去污剂等方面也大量使用。
3.用作低温制冷剂及集成电路的等离子干法蚀刻技术。
